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1700度立式CVD系统\立式管式炉CVD系统
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立式管式炉CVD系统技术参数
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VSGM1700管式炉
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型号 |
VSGM1700-CVD-I |
VSGM1700-CVD-II |
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功率 |
7KW |
7KW |
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炉管尺寸 |
Dia 60(OD) X1000mm |
Dia 80(OD) X1000mm |
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炉塞，材料位置放置 |
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外形尺寸（LXDXH） |
1300X500X800mm |
1300X500X800mm |
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电源电压 |
220V/380V |
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相数 |
单相 |
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加热元件 |
1800型硅钼棒 |
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控制方式
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采用宇电程序控温仪表（标配） 1、50段程序控温智能PID调节。 2、具有过温保护 断偶保护过温或断偶时电炉加热电路自动切断,，（当电炉温度超过1720度或热电偶烧断时， 主电路上的交流继电器会自动断开，主电路断开，面板上ON灯熄灭，OFF灯亮，有限的保护电炉）。 3、带有485 通讯接口（选购软件时标配） 4、具有断电保护功能，即断电后再给电启动炉子时、程序不是从起始温度开始升、而是从断电时炉温开始升。 5、仪表具有温度自整定的功能
（更换仪表，需要另外付费，选购）
FP93控温仪表 欧陆仪表 触摸屏仪表 （岛电） |
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控温模式 |
智能PID |
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断偶保护和显示 |
有 |
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过温保护 |
有 |
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过流保护 |
有 |
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控制精度 |
+/- 1 ℃ |
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触发器 |
移相触发 |
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电器 |
浙江正泰 |
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可控硅 |
106/16E 德国西门康 |
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额定温度 |
1700 ℃ |
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额定温度 |
1650 ℃ |
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升温速率 |
≤20 ℃/ Min （可根据要求修改） |
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推荐升温速率 |
≤10℃/ Min |
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热电偶型号 |
B 型 |
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加热段长度 |
440 mm |
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电器认证 |
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四周表面温度 |
≤45℃ |
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法兰和阀门 |
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GX供气系统主要参数
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质量流量计
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量程和气体 |
5、10、20、30、50、100、200、300、500SCCM、1、2、3、5、10SLM （你可以任意选择以上量程和所通气体的类型） |
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耐压 |
3MP |
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流量控制精度 |
&±1、0%F.S |
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额定工作（使用）压力 |
0.3MPa |
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线性 |
&±0.5%F.S. |
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重复精度 |
&±0.2% F.S |
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路数 |
1 、2、3、4、5、6、7、8 路（可任意选择几路） |
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接头类型 |
双卡套不锈钢接头 |
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系统工作压力范围 |
0.1~0.5 MPa |
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工作温度 |
5-45℃ |
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压力真空表表 |
-0.1~0.15MPa 0.01MPa/格 |
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静态混气室 |
Dia50 X 400MM |
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接口 |
Dia6 / 1/4” |
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VS-0.1抽气系统
方案一或方案二任选一个
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电源 |
220V |
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尺寸 |
650X650X600 / 650X650X300 |
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波纹管 |
KF25X1000mm |
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用该系统抽炉管真空度可达 |
10-1Pa |
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真空挡板阀 |
KF25 |
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VRD-8真空泵 方案一 |
型号 |
VRD-8 |
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极限分压强 |
5X10-2Pa |
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进排气接口 |
KF25 |
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电机转速 |
1440RPM |
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抽气速率 |
2、2L/S |
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电机功率 |
0.4KW |
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Preiffer ACP15无油多级罗茨泵 方案二 |
型号 | ACP15 | ||
| 电源 | AC100-240 50/60HZ | |||
| 功率 | 450W | |||
| 重量 | 25KG | |||
| 额定氦气漏率 | 5 · 10-8Pa m3/s | |||
| 抽气速率 | 14 m3/h | |||
| 极限压强 | 0.02Torr | |||
| 进、排气接口 | KF25 | |||
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电阻真空计 （方案一） |
型号 |
ZDR-1 |
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功率 |
25W |
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真空度测量范围 |
0.1-105Pa |
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电阻硅 |
ZJ-52T |
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瑞典（INFICON）皮拉尼陶瓷电容真空 （方案二）
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型号 |
PCG554 |
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输入电压 |
24V1A DC（配有220V变压器） |
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真空计接口 |
KF16 |
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数字显示 |
数字显示（屏幕尺寸为20x14mm），其数据显示单位为torr |
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产品尺寸 |
46mm×28mm×126mm(LxWxH) |
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重量 |
5lbs |
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检测气体 |
可检测各种气体，包括混合气体，测量精度、重复性好。 |
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是否防腐 |
防腐 |
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响应时间 |
≤30ms |
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测量范围 |
3、8x10-5-1125Torr. |
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分子泵机组（选购）
（方案一或方案二任选一个） |
机组输入电压 |
380V /220V |
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波纹管 |
KF40X1000 |
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真空挡板阀 |
KF40 |
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机箱尺寸 |
600X600X600 |
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分子泵 （方案一）
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分子泵型号 |
FJ620 |
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输入电压 |
380V |
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分子泵进气口法兰 |
DN160 |
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分子泵抽气速率L/S（对空气） |
600 |
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分子泵极限压强（Pa) |
6×10-7 |
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冷却方式 |
水冷 |
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冷却水压（MPa） |
0.1-0.2 |
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冷却水温度 |
<25℃ |
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环境温度 |
0~40℃ |
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建议启动压强 |
<100pa |
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分子泵前级真空TRP-24 (FJ620分子泵必须要配此前级泵) （方案二）
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功率 |
0.75KW |
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电压 |
380V |
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转速 |
1450rpm |
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进气口径 |
KF25/KF40 |
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前机泵抽气速率（L/S） |
6 |
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极限压强 |
4X10-2Pa |
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德国Pfeiffer真空泵（方案二） |
电压 |
220V |
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功率 |
110W |
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抽气接口 |
KF40 |
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重量 |
150KG |
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前机泵抽速 |
0.9m3/ h |
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抽气速率（N2） |
33L/S |
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复合真空计
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复合真空计型号 |
ZDF |
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电源 |
220V 55W |
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控制精度 |
&± 1% |
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真空计测量范围 |
10-5-105Pa |
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质保期
一年质保，终身技术支持
特别提示：1、耗材部分如加热元件，炉管，样品坩埚等不在保修期内。
2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。
注意事项
1、炉管内气压不可高于0.02MPa
2、由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，为了确保安全，建议使用压力低于0.02MPa
3、当使用的炉管为刚玉管时，炉体温度高于1500℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当
4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的气流对热炉管的冲击
5、对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开排气阀，以防意外发生（如炉 管破裂，法兰飞出等）
6、不要在氧化铝管中使用石墨坩埚
CVD系统由供气系统+管式炉+抽气系统 ，额定温度可以达到1200度、1400度、1600度、1700度，加热区间可以是单温区、双温区、三温区等，极限真空可以达到10-3Pa，供气系统是流量调节可以是质子流量计或浮子流量计，混气路数可以是2路、3路、4路、5路相混合。
这款CVD系统是由4路供气系统+SGM1700管式炉+真空系统组成
1、加热元件
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（1）、硅钼棒的热端粗度D1为7mm、一般厂家采用的6MM、加热端粗、不容易弯曲、棒子的表面负荷低，使用寿命长。
（2）、采用的是热弯技术，电阻均匀，使用寿命长
（3）、Lu冷端长度为210mm， 400X300X300炉子为260 ，一般厂家采用180mm, 冷端长炉顶温度低。
（4）、硅钼棒表面氧化非晶膜致密，能够比较好的保护硅钼棒。
2、安装有空气开关和漏电保护器：
当电路过流或漏电时，空开会自动断开。
、
3、可以与电脑连接
该炉配有通讯接口和软件，可以直接通过电脑控制炉子的各个参数，并能从电脑上观察到炉子上PV和SV温度值和仪表的运行情况，炉子的实际升温曲线电脑会实时绘出，并能把每个时刻的温度数据保存起来，随时可以调出
4、炉膛
炉膛VS 国产炉膛
1、真空吸滤成型的质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛。
2、采用技术成型。
3、炉膛里电阻丝的间距和节距全部按蕞的热工技术布置、经过热工软件模拟温场
4、采用4周加热，温场更加均衡
5、该炉膛不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强
5、可选UL认证电气板 （全部通过UL认证的电器）
6、触发器
VS .jpg)
软启动限流触发器 大部分厂家使用的非限流
厦门博特触发器
1、移相触发（带软启动和限流功能）
2、限流功能：无论怎么样设置升温速率，我们电炉的二次电流始终被限制在170A以内，有效的保护了设备。由于采用限流功能，高温下可开炉门。如果您使用的电炉需要在升温过程中对炉子的升温速率进行限制（例如：规定在1400℃后不得超过3℃/min等）即采用非限流触发器。升温速率设置错误或者升温速率过快、这时电流会非常大，设备会跳闸或烧坏。
3、软启动功能：开机时电流会慢慢增大，对加热元件的冲击较小，有利于加热元件寿命的延长
4、保护功能：如果电流超过限制电流、触发器会自动切断触发功能以切断电流保护电炉。
7、UL认证变压器
1、变压器电缆为纯铜 2、变压器声音小 3、变压器温身低
8、多款可供选择的各种法兰 （直径从25到250mm）
铰链式法兰（选购） 可以接电阻真空计和KF25波纹管的法兰（选购） 水冷法兰（选购）
9、认证
VSGM1700-CVD系统标配
|
描叙 |
数量 |
图片 |
|
VSGM1700管式炉 |
1 套 |
|
|
刚玉管 |
1根 |
|
|
不锈钢法兰 |
1 套 |
|
|
不锈钢炉钩 |
1 个 |
|
|
氧化铝炉塞 |
1对 |
|
|
高温手套 |
1 双 |
|
|
氧化铝坩埚 |
1 个 |
|
| Ｋ型热电偶 | 1个 |
 |
|
485转换接口和软件（选配） |
1 套 |
|
|
说明书 |
1本 |
|
|
供气系统
|
1台 |
 |
| VS-0.1抽气系统 | 1台 |
 |
| 射频电源 | 1台 |
 |
| 卡套 | 4个 |
 |
| 波纹管 | 1支 |
 |
| 真空挡板阀 | 1个 |
 |
| 钢瓶接头（N代表路数） | N个 |
 |
| 阀门接头 | 2 |
 |
| 聚四氟乙烯管(N代表路数) | NX5 |
 |
厂家哪家好?哪个厂家的质量好啊?
西格马作为专业的厂家，具有多年研发经验与多项专利，价格合理、型号齐全、质量可靠。
